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AWL系列國產晶圓搬運機是由高精度光學檢測顯微鏡搭載全自動晶圓搬運系統組成，支持4-12寸的晶圓尺寸，可輕松實現多角度、全視野的宏觀檢查、以及晶圓微觀細節的高清捕捉，可對半導體過程工藝中的關鍵參數、缺陷問題進行有效監控，是晶圓來料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。

更新日期：2026-06-16

型號：AWL系列

廠商性質：生產廠家

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