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AWL系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機是由高精度光學(xué)檢測顯微鏡搭載全自動晶圓搬運系統(tǒng)組成，支持4-12寸的晶圓尺寸，可輕松實現(xiàn)多角度、全視野的宏觀檢查、以及晶圓微觀細節(jié)的高清捕捉，可對半導(dǎo)體過程工藝中的關(guān)鍵參數(shù)、缺陷問題進行有效監(jiān)控，是晶圓來料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。

AWL046型晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備(半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測)是由高精度光學(xué)檢測顯微鏡搭載全自動晶圓搬運系統(tǒng)組成。設(shè)備兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查一個晶圓在經(jīng)過一系列復(fù)雜工序后最終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴搬運機在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。

MS高精度工具測量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和影像測量儀的 X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能，具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、醫(yī)療器械、汽車行業(yè)、計量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測。

MX12R金相顯微鏡物鏡、孔徑光闌等采用電動切換模式，操作更加方便快捷，配置12寸超大移動平臺，為半導(dǎo)體、FPD 檢測提供最佳的應(yīng)用環(huán)境。最大可支持 300mm 晶圓及 17 英寸液晶面板的檢查。

MX8R金相顯微鏡采用新照明系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng)，照明均勻，成像清晰。突破性的大金相機架設(shè)計，可承載 8英寸超大工作平臺，適用于穩(wěn)固創(chuàng)新的機械結(jié)構(gòu)更好的滿足專業(yè)市場需求。

MX68R正置金相顯微鏡最大支持200mm晶圓及11英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8 英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學(xué)設(shè)計全面提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。